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HORIBA/堀場HF-960M低濃度型HF/HCl/NH3濃度計采用的傳感器具有出色的耐腐蝕性，可對低濃度的化學(xué)品進行高精度、高速測量，因此是單槽清洗和晶圓清洗的理想選擇。HF-960M 也是一款環(huán)保產(chǎn)品，使用無鉛焊料將芯片嵌入印刷電路板。

HORIBA/堀場CS-620F光纖型高溫磷酸濃度計，在3D NAND 制程中，沉積幾十層二氧化硅和氮化硅，并使用高溫磷酸選擇性地刻蝕氮化硅層。能夠在高達(dá)170℃ 的高溫下進行測量。使用吸收光譜進行連續(xù)測量，與其他方法相比，需要的維護和耗材更少。

HORIBA/堀場CS-900非接觸式化學(xué)藥液濃度計，為達(dá)到半導(dǎo)體濕法制程中所需的嚴(yán)格化學(xué)藥液濃度控制，HORIBA通過設(shè)計緊湊設(shè)備，以及通過其原有傳感器設(shè)計保持穩(wěn)定測量和確保操作人員安全，實現(xiàn)更強大功能以滿足需求。